EFEM：Side Storage
产品名称:
EFEM：Side Storage型号:
2Port~4 Port品牌:
ROBOSTAR价格:
1最小起订量:
1
产品摘要:
装载2Port~4 Port LPM / Soft and High Speed Wafer Handling with AC Servo System Control. FOOTPRINT 最优化 / 可使用 FFU 扣押联动 Mode / 构现 Enable smooth top down air flow with enclosure structure OPTION : Pre-ALIGNER, SIDE STORAGE
- 产品描述
主要特征
■ Carrier : 300mm FOUP (SEMI E47.1-1101)
■ Cleanliness : ISO Class1
■ Repeatability : ±0.1mm
■ Electric Supply : 208VAC±10%, 3Phase
■ Acoustic Noise : < 70dB
■ Communication : Ethernet
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