晶圆寻边器/校准器（Aligner)
产品名称:
晶圆寻边器/校准器（Aligner)型号:
RPS-1201品牌:
ROBOSTAR价格:
1最小起订量:
1
产品摘要:
RPS-1201 排列半导体制造装备或检查装备 Wafer时使用的System / Wafer Notch Check 与 Centering 功能 验出Wafer Chipping的功能 / Vacuum Chuck Type / 对应450mm Wafer 可利用T/P快速检查LPM的状况与设定
- 产品描述
主要特征
■ Wafer Plain 100mm
■ Sensing CMOS or Laser (Option)
■ Centering repeatability ≤ ±0.1mm
■ Angle repeatability ≤ ±0.1°
- 其它产品
产品搜索
品牌专区
联系我们
联系人:
曾先生电话:
13538656018- (86) 769-22111234
- AC伺服营业部: 13829201077
传真:
(86) 769-2211-5678邮箱:
sales@sankyoservo.cn-
