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晶圆装载系统(loadport)
Ring Frame LPM 半导体工程内300mm FOUP的 Load / Unload , UP / Down Mapping 功能 适用N2 P...
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晶圆FOUP载入口
12" LPM 半导体工程内300mm FOUP的 Load / Unload , UP / Down Mapping 功能 适用N2 Purge 功...
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晶圆寻边器/校准器(Aligner)
RPS-1201 排列半导体制造装备或检查装备 Wafer时使用的System / Wafer Notch Check 与 Centeri...
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晶圆校准器/寻边器(Aligner)
排列半导体制造装备或检查装备 Wafer时使用的System / Wafer Notch Check 与 Centering 功能 验...
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晶圆Aligner(8寸)
排列半导体制造装备或检查装备 Wafer时使用的System / Wafer Notch Check 与 Centering 功能 验...
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校准器(Aligner)
排列半导体制造装备或检查装备 Wafer时使用的System / Wafer Notch Check 与 Centering 功能 验...
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进口EFEM
装载2Port~4 Port LPM / Soft and High Speed Wafer Handling with AC Servo System Control. ...
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EFEM:Side Storage
装载2Port~4 Port LPM / Soft and High Speed Wafer Handling with AC Servo System Control. ...
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Robostar直线模组
RS-045N 、RS-050、RS-065 、RS-066N、RS-075N、RS-086N、 RS-095、RS-120、RS-140、RS-175、RS...
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